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基于厚膜工艺，研制了一种集成有进样接口、气路接口、温控元件和离子源固定装置等外围功能模块的高集成度FAIMS迁移管，阐述了其结构特征和制作方法。为验证其性能，搭建了相应的FAIMS外围检测平台，以丙酮和甲苯为样品进行实验，得到了它们的FAIMS谱图，并与基于MEMS工艺的非集成FAIMS迁移管所测得的丙酮和甲苯的谱图比较，证明了高集成度迁移管在功耗、漏电流、气密性、灵敏度、分辨率和稳定性等方面的优异性能，说明高集成度迁移管适合作为小型化FAIMS独立检测系统的核心器件。