六氯化钨氢还原气相沉积钨管

来源 :稀有金属合金加工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:owenm87
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一、前言钨的熔点高,高温机械性能好,是一种很好的高温料材。再加之它的高温蒸汽压低,良好的电性能。因此在工业上获得了广泛的应用。根据不同的用途,采用各种不同形式的加工材:如丝、棒、板、带、箔、管等。尺寸不同的钨管主要用于发热元件、热电发射体、液体金属容器等。但钨的加工较困难,小尺寸或壁薄而长的钨管加工工艺更为困难。因此,人们发展了多种其他方法生产此类管材。化学气相沉积法即其中之一。 First, the foreword Tungsten high melting point, high temperature mechanical properties, is a good high temperature material. Coupled with its low temperature vapor pressure, good electrical properties. Therefore, it has been widely used in industry. According to different purposes, using a variety of different forms of processing materials: such as silk, rods, plates, belts, foils, tubes and so on. Different sizes of tungsten tube is mainly used for heating elements, thermoelectric emitters, liquid metal containers. However, the processing of tungsten is more difficult, small size or thin and long tungsten tube processing more difficult. Therefore, there are many other ways to produce such pipes. Chemical vapor deposition is one of them.
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