【摘 要】
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TiN和TiAlN涂层常应用于精冲模,采用XRD技术分析了不同厚度TiN和TiAlN涂层的相变化,并采用Sin2Ψ法测量了TiN涂层和基体以及TiAlN基体的残留应力,应用显微硬度计测量了涂层的
【机 构】
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华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室
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TiN和TiAlN涂层常应用于精冲模,采用XRD技术分析了不同厚度TiN和TiAlN涂层的相变化,并采用Sin2Ψ法测量了TiN涂层和基体以及TiAlN基体的残留应力,应用显微硬度计测量了涂层的显微硬度.结果表明:TiN涂层(111)和(222)晶面存在明显择优取向,涂层残留应力分布在-2 347 ～ -1920MPa,基体残留应力分布在-154.9～-69.21 MPa,均随厚度增加而减小；TiAIN涂层主要相成分为Ti3Al3N2,且(107)晶面存在择优取向,基体残留应力分布在-123.7 ～ 469.5 MPa,主要呈拉应力状态,且随厚度增加而增大,对模具寿命有较大影响；TiN和TiAIN涂层显微硬度随厚度增加而增大.
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