【摘 要】
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以250～500 eV的低能离子束轰击溅射石墨靶在钢上沉积非晶态碳膜,再以25～35 keV的高能离子束将离化的双原子分子氮注入非晶态碳膜.纳米硬度分析表明了离子注氮后的硬度从20～30 GP
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以250～500 eV的低能离子束轰击溅射石墨靶在钢上沉积非晶态碳膜,再以25～35 keV的高能离子束将离化的双原子分子氮注入非晶态碳膜.纳米硬度分析表明了离子注氮后的硬度从20～30 GPa提高到27～42 MPa范围;激光拉曼谱显示,膜的结构仍为非晶态,但所有拉曼参数发生变化,说明氮和碳形成化学键;X光电子能谱进一步揭示了氮注入碳后,氮峰位化学位移变化,隐示新相形成的可能性.结论:氮离子注入可形成氮化的类金刚石;双能级离子束轰击技术可提高氮在薄膜中的成分含量和碳膜的性能.
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