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在此之前的制造技术存在的缺点是，凹部上的半导体基片总是中央厚、周边薄，厚度不均匀．传感器精度不近人意。
半导体力学量传感器的制造方法
【摘 要】
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在此之前的制造技术存在的缺点是，凹部上的半导体基片总是中央厚、周边薄，厚度不均匀．传感器精度不近人意。
【出 处】
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国外传感技术
【发表日期】
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2005年1期
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