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微执行器是构成MEMS动力部分,是MEMS的操作和执行机构.本文介绍了常用的电场力、磁场力和热效应驱动的三种驱动的MEMS微执行器特点及工作原理.
三种常见的MEMS微执行器的特点及原理
【摘 要】
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微执行器是构成MEMS动力部分,是MEMS的操作和执行机构.本文介绍了常用的电场力、磁场力和热效应驱动的三种驱动的MEMS微执行器特点及工作原理.
【机 构】
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南京邮电大学电子科学与工程学院,030002
【出 处】
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大科技·科技天地
【发表日期】
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2011年5期
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