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介绍了设备的结构、组成及工作过程,对新型矩形双平面磁控溅射阴极及有关的各阴极进行了分析、比较.
JPD-1200型矩形双平面磁控溅射阴极镀膜设备的研制
【摘 要】
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介绍了设备的结构、组成及工作过程,对新型矩形双平面磁控溅射阴极及有关的各阴极进行了分析、比较.
【机 构】
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兰州真空设备有限责任公司,甘肃,兰州,730050
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2004年5期
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