由红外透过谱确定金刚石膜的光学常数及相关因素

来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lukesong123

【摘要】

：

结合金刚石膜的具体情况,考虑到色散效应、膜的微结构、表面粗糙度及样品中自由载流子和C-H的吸收等多种因素对红外透过谱的影响,在无吸收单层膜透过率模型的基础上进行了修

【作者】

：

张继华孙亦宁李敬起郭晚土高欣

【机构】

：

兰州物理研究所

【出处】

：

真空与低温

【发表日期】

：

2001年3期

【关键词】

：

光学常数透过率金刚石膜结构红外透过谱红外光学性质 optical constantstransmittancediamond

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结合金刚石膜的具体情况,考虑到色散效应、膜的微结构、表面粗糙度及样品中自由载流子和C-H的吸收等多种因素对红外透过谱的影响,在无吸收单层膜透过率模型的基础上进行了修正,给出了自支撑金刚石薄膜透过率的数学模型.并对不同制备方法和工艺参数下沉积的金刚石膜的红外透过谱用Levenberg-Mar-quardt算法进行非线性最小二乘拟合,从而确定出样品的红外光学常数和其它影响透过率的因素.这些结果对正确分析金刚石薄膜的红外光学性质是很重要的.

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