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以双氧水为例列举了国内电路生产厂家对杂质和颗粒的要求，同时指出当前我国电路生产处于超大规模集成电路阶段，而超净高纯试剂的生产则只能满足大规模集成电路的需要，ＶＬＳＩ级试剂主要依赖进口，急需实现国产化。
当前我国微电子工业对超净高纯试剂的质量要求
【摘 要】
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以双氧水为例列举了国内电路生产厂家对杂质和颗粒的要求，同时指出当前我国电路生产处于超大规模集成电路阶段，而超净高纯试剂的生产则只能满足大规模集成电路的需要，ＶＬＳＩ级试剂主要
【机 构】
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天津市化学试剂三厂
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1998年4期
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