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介绍了现存的SnO2的生成方法,分析了影响SnO2薄膜的一些因素以及这些因素在实验中对SnO2薄膜厚度及性质的影响,为今后研究SnO2薄膜的生成方法打下了基础.
SnO2气敏膜的生成方法概况
【摘 要】
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介绍了现存的SnO2的生成方法,分析了影响SnO2薄膜的一些因素以及这些因素在实验中对SnO2薄膜厚度及性质的影响,为今后研究SnO2薄膜的生成方法打下了基础.
【机 构】
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中国矿业大学
【出 处】
：
煤矿机械
【发表日期】
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2004年2期
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