论文部分内容阅读
提出了一种用于纳米三坐标测量机接触式测头预行程测量的方法.确定了预行程需侦测接触点和触发点两个关键点.为了对该高灵敏度的测头进行标定,整个实验系统需要3个基本条件：纳米级驱动器,高分辨率传感器和多级速度控制算法.本研究使用一种超声波马达HR4在同一平台上实现大行程粗略驱动以及微位移调整.位移测量使用光栅传感器LDGI（linear diffraction grating interferometer）,其分辨率可达1nm.在测试过程中采用高速逼近和低速触发,使用＂双触发＂方式获得触发点位置.接触点位置的侦