二氧化铈对准晶真空蒸镀薄膜的影响

来源 :第六届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:woaiyan0
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采用DMD-450真空镀膜仪将Al65Cu20Fe15准晶粉末沉积在Q235钢表面制备薄膜。研究了二氧化铈对薄膜的组织和结构的影响。采用透射电镜(TEM)、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)等分析了薄膜的组织结构和表面形貌.利用纳米压痕仪(MTS)测试了薄膜的显微硬度和弹性模量。结果表明:通过准晶粉末真空蒸镀可以形成准晶薄膜。其组成相有CuAl2,AlCu3and I(Al65Cu20Fe15)相等。薄膜的成分取决于制备工艺.二氧化铈对薄膜的结构没有产生明显的影响。但是薄膜的显微硬度和弹性模量随二氧化铈添加量的增加而提高。当二氧化铈添加量为5%(质量分数)时,薄膜的显微硬度达到9.0GPa,弹性模量最高达到190 GPa.此外,二氧化铈的添加明显增加了薄膜的耐蚀性能。
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