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本文通过对直拉硅进行大剂量中子辐照,并对硅片表面缺陷形成机理进行了探讨。研究表明,中照在硅片中引入大量辐照缺陷同硅片中杂质及点缺陷的相互作用,强烈地抑制了硅片表面缺陷的产生。
一种控制硅片表面缺陷产生的新方法
【摘 要】
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本文通过对直拉硅进行大剂量中子辐照,并对硅片表面缺陷形成机理进行了探讨。研究表明,中照在硅片中引入大量辐照缺陷同硅片中杂质及点缺陷的相互作用,强烈地抑制了硅片表面
【机 构】
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河北工学院材料中心,河北工学院材料中心
【出 处】
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河北工学院学报
【发表日期】
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1991年1期
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