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本文介绍了一种用于太阳能电池板表面质量检测的三维形貌测量仪，重点介绍了基于白光显微干涉和双衍射光栅激光位移计量的垂直扫描系统和计算机信息处理系统的结构组成与工作原理。通过采用该测量仪对标；住单刻线样板和A级多晶硅片表面进行比对实验，验证了太阳能电池板表面形貌测量仪所能达到的精度。
太阳能电池板表面形貌测量仪
【摘 要】
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本文介绍了一种用于太阳能电池板表面质量检测的三维形貌测量仪，重点介绍了基于白光显微干涉和双衍射光栅激光位移计量的垂直扫描系统和计算机信息处理系统的结构组成与工作原
【机 构】
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郑州大学机械工程学院,洛阳理工学院机械工程学院
【出 处】
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洛阳理工学院学报：自然科学版
【发表日期】
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2017年2期
【基金项目】
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河南省科技攻关项目（132102210046）.
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