【摘 要】
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本研究在10 kW微波等离子体CVD装置中进行，以仿真模拟为辅助理论依据研究了在一定的高功率环境下，气压对金刚石薄膜沉积质量的影响。利用SEM表征对金刚石表面形貌变化进行分析，
【机 构】
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武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
【基金项目】
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湖北省教育厅科学技术研究计划优秀中青年人才项目(Q20151517);武汉工程大学教育创新基金(No.CX2016021)
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本研究在10 kW微波等离子体CVD装置中进行，以仿真模拟为辅助理论依据研究了在一定的高功率环境下，气压对金刚石薄膜沉积质量的影响。利用SEM表征对金刚石表面形貌变化进行分析，利用Raman表征结果分析了不同气压环境下金刚石薄膜的结晶质量及半高宽的变化情况。研究结果表明，气压对电子密度影响很大，进而影响金刚石沉积薄膜的表面形貌。在5 kW微波功率下，17 kPa为最优沉积气压，沉积形貌相对最好，半高宽最小。当气压低于17 kPa时，结晶质量随气压增大而增大；当超过17 kPa时，结晶质量不增反降。
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