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利用相干反斯托克斯拉曼光谱(CARS)技术,根据在低浓度时极化率的共振项对非共振项的调制大小(调制度)与被测气体浓度的关系,提出了微量气体浓度的测量方法,建立了共振极化率的调制度与被测气体浓度、温度之间关系,验证了数量关系式的正确性,其结果是理论值与实验值在低浓度范围内的偏差不超过4.5%.并实测了酒精火焰中不同位置处的CO浓度,讨论了气体温度等因素对测量结果的影响.