Si基双环谐振腔力敏传感特性研究

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【摘要】

：

为研究双环谐振腔结构力敏传感特性,设计了不同半径比的基于绝缘衬底上硅的双环微腔结构,通过理论分析以及实验测试并结合有限元仿真,得出半径比为3∶1的双环结构的灵敏度为8

【作者】

：

焦克莹

【机构】

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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,驻马店职业技术学院

【出处】

：

电子器件

【发表日期】

：

2018年04期

【关键词】

：

微环谐振腔绝缘体上硅力敏检测光波导

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为研究双环谐振腔结构力敏传感特性,设计了不同半径比的基于绝缘衬底上硅的双环微腔结构,通过理论分析以及实验测试并结合有限元仿真,得出半径比为3∶1的双环结构的灵敏度为80.26 pm/MPa,而半径比为1∶1的双环结构的灵敏度高达128.87 pm/MPa,具有高的检测灵敏度,表明双环微腔敏感结构单元可应用于应力检测领域。

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