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本文介绍了一种利用自扫描光电二极管阵列(SSPDA)图象传感器作为光电转换器件,可用于大面积显示器件图象质量评价和测微领域的测量系统。该系统由光学成象、SSPDA图象传感器、数据采集、接口电路和微型计算机等部分组成,能对各种被测量参数进行处理,并打印出数据和曲线。通过对彩色显象管(CPT)的线宽、三束间距以及光学狭缝等的测试,该系统显示了足够的测量精度。