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采用液态源扩散法制备了双向型瞬变电压抑制二极管（Transient Voltage Suppressor Diode，简称TVS）器件。研究了扩散温度、扩散时间、电阻率、钝化保护等工艺参数对TVS器件电性能的影响。扩散温度、扩散时间的增加将使扩散结的结深增加；电阻率的提高及结深的增加，将使TVS器件的雪崩击穿电压增大；合适的钝化保护方法将有助于减小器件的反向漏电流。给出了电压和扩散时间之间的经验估算公式，该公式可用来指导得到希望的TVS目标电压档。据验算．该公式的误差在10％以内。