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CoS薄膜的制备和介电性质的研究
CoS薄膜的制备和介电性质的研究
来源 :化工时刊 | 被引量 : 0次 | 上传用户:suncj007
【摘 要】
:
以CoCl2和Na2S为试剂,采用改进的化学浴沉积法在玻璃衬底上制备出了CoS薄膜,并分别以偏光显微镜和LCR仪对样品的形貌和介电性质进行了研究。
【作 者】
:
高友禄
【机 构】
:
东南大学物理系
【出 处】
:
化工时刊
【发表日期】
:
2006年8期
【关键词】
:
COS
化学浴沉积
介电常数
介电损耗
CoS chemical bath deposition dielectric properties
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以CoCl2和Na2S为试剂,采用改进的化学浴沉积法在玻璃衬底上制备出了CoS薄膜,并分别以偏光显微镜和LCR仪对样品的形貌和介电性质进行了研究。
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