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论述了硅微振动轮式陀螺仪的结构组成，分析了其动态过程，探讨了提高其灵敏度的途径以及影响其精度的误差来源，最后给出了测试电路和制作工艺。
硅微振动轮式陀螺仪的研究
【摘 要】
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论述了硅微振动轮式陀螺仪的结构组成，分析了其动态过程，探讨了提高其灵敏度的途径以及影响其精度的误差来源，最后给出了测试电路和制作工艺。
【机 构】
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东南大学仪器科学与工程系
【出 处】
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东南大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1998年6期
【基金项目】
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国防科技预研基金
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