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倍频微脉冲复合高功率磁控溅射TiCN薄膜结构及性能研究

来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bangliju

【作 者】

：

张炜鑫  巩春志  温家瑞  马玉山  刘海波  何涛  岳玲 

【出 处】

：

真空与低温

【发表日期】

：

2019年04期

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