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相对于传统深能级瞬态谱(DLTS)方法,快速傅立叶变换深能级瞬态谱(FFT-DLTS)方法具有灵敏度高,分辨率高等特点,但是由于用FFT-DLTS方法在处理多能级DLTS系统时存在着系统误差从而限制了该方法的应用.论证了该误差产生的原因并提出用迭代法来解多能级的傅立叶系数谱的方法;有效地解决了传统FFT-DLTS方法所存在的问题;且能级分辨率又有显著的提高.