【摘 要】
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COG邦定机是液晶模块生产中的关键设备。是集光学、计算机控制、图像识别处理、精密机械等多学科技术于一体的高精度、高可靠性微电子专用设备。邦定机压头是拾取芯片进入CCD
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院
【基金项目】
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2005年度省院合作资金资助项目(2005SYHZ0015)
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COG邦定机是液晶模块生产中的关键设备。是集光学、计算机控制、图像识别处理、精密机械等多学科技术于一体的高精度、高可靠性微电子专用设备。邦定机压头是拾取芯片进入CCD物方视场进行图像识别采样并最终完成压接的重要部件之一。由于CCD相机物方视场较小，压头工作中因加热引起的热变形影响CCD图像识别，往往使得加热后IC的图像识别模糊不清。本文利用ANSYS软件成熟的热应力分析功能分析并获得了压头热变形理论值，结合宾际测量验证了有限元分析结果．以理论分析结果进行压头调节获得了较理想的IC标识CCD图像识别效果。
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