【摘 要】
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研究多晶硅工业的主要副产品四氯化硅(SiCl4)在离子液体中的溶解、电沉积过程。结果表明,SiCl4在离子液体中的溶解度随温度升高而降低,离子液体的导电率随温度升高而增加。在
【机 构】
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上海第二工业大学资源循环科学与工程中心,上海电子废弃物资源化协同创新中心,上海大学理学院物理系
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51474146),上海第二工业大学校重点学科(XXKZD1602),上海第二工业大学研究生项目基金(EGD17YJ0002).
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研究多晶硅工业的主要副产品四氯化硅(SiCl4)在离子液体中的溶解、电沉积过程。结果表明,SiCl4在离子液体中的溶解度随温度升高而降低,离子液体的导电率随温度升高而增加。在阴离子为[TNf2]的情况下,阳离子为[N1114]的季铵盐类离子液体比咪唑类[Bmim]离子液体具有更好的SiCl4溶解度和导电性。SiCl4在季铵盐类离子液体的溶解度随烷基主链长度增加而增大,随侧链长度增加而降低。[N1114][TNf2]和SiCl4之间形成C-Cl、Si-O和C-Si键,在[N1114][TNf2]-SiCl4
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