【摘 要】
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对同时加入Fe与Cr进行改性的(TiFeCr)N多元膜的高温氧化行为进行了研究,结果表明:1)这种多元膜在600℃以上的各个温度下的氧化增重均低于TiN膜,加热至600℃膜层仍保持良好的
【机 构】
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华南理工大学机械电子工程系,广东工业大学材料与能源学院
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对同时加入Fe与Cr进行改性的(TiFeCr)N多元膜的高温氧化行为进行了研究,结果表明:1)这种多元膜在600℃以上的各个温度下的氧化增重均低于TiN膜,加热至600℃膜层仍保持良好的光亮程度,加热至800℃膜层仍保持完整,没有类似TiN膜的局部脱落现象,说明这种多元膜具有优于TiN的抗高温氧化性能;2)600℃氧化1h后,X射线衍射谱上没有出现类似于TiN场合下出现的氧化铜的谱线,说明这种多元膜能有效地抑制铜基体的氧化,具有优于TiN膜的保护性能.
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