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由于界面互扩散的存在，实际的超薄多层膜很难具有清晰的界面结构，假设超薄多层膜为具有周期性梯度折射率的多层膜结构，用直线模型和余弦模型模拟了周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率，结果证明，折射率余弦渐变的多层膜虽然不具有清晰的界面，但它同样具有很高的反射率。
周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率
【摘 要】
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由于界面互扩散的存在，实际的超薄多层膜很难具有清晰的界面结构，假设超薄多层膜为具有周期性梯度折射率的多层膜结构，用直线模型和余弦模型模拟了周期性梯度折射率多层膜的软X
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2006年8期
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