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应用TRIM 程序模拟了离子在氚钛靶上的溅射产额.结果显示,O+、N+、C+和D+2等在氚钛靶上的溅射是导致氚钛靶寿命下降的重要因素.为了减小离子溅射对氚钛靶寿命的影响,束流入射角应小于45°.
离子溅射对氚钛靶寿命的影响
【摘 要】
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应用TRIM 程序模拟了离子在氚钛靶上的溅射产额.结果显示,O+、N+、C+和D+2等在氚钛靶上的溅射是导致氚钛靶寿命下降的重要因素.为了减小离子溅射对氚钛靶寿命的影响,束流入射
【机 构】
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兰州大学,中国工程物理研究院
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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2003年1期
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