微小型高分辨率光纤光谱仪在等离子体领域的应用

来源 :光机电信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuejun2004
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等离子体是继气体、液体、固体后的第4种物质聚集态。等离子体物理学是一门蓬勃发展的新兴学科,其应用领域包括受控热核聚变、空间科学、环境科学、微电子与信息产业、材料合成与处理、国防和高技术应用等诸多方面。目前,测量等离子体最简单的方法就是使用荷兰Avantes公司的微小型、高分辨率、多通道光纤光谱仪。
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