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本文简述了红外热成像技术用于厚膜混合集成电路热设计中的理论与实验方法，并讨论了结果。
热成像技术在厚膜混合集成电路热设计中的应用
【摘 要】
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本文简述了红外热成像技术用于厚膜混合集成电路热设计中的理论与实验方法，并讨论了结果。
【机 构】
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华东微电子技术研究所
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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1994年3期
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