【摘 要】
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本文介绍了应用柱面全息光栅干涉技术的触针式传感器及实验系统。该系统可用于工程中曲面表面形貌的高精度测量和特性分析。
This paper introduces the stylus sensor and
【机 构】
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华中理工大学测试技术与科学仪器研究中心
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本文介绍了应用柱面全息光栅干涉技术的触针式传感器及实验系统。该系统可用于工程中曲面表面形貌的高精度测量和特性分析。
This paper introduces the stylus sensor and experimental system using cylindrical holographic grating interference technology. The system can be used for high-precision measurement and characterization of surface topography in engineering.
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