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使用等离子增强化学气相沉积技术,将C2H2、H2和N2当成是反应气体,研制碳纳米管薄膜。使用扫描电镜（SEM）以及拉曼光谱（Raman）对其展开讨论,研究发现：催化剂刻蚀温度对碳纳米管薄膜的生长起着重要作用,获得定向性好、密度适中、杂质缺陷少的碳纳米管的最佳刻蚀温度为700℃。
不同刻蚀温度下的碳纳米管研究
【摘 要】
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使用等离子增强化学气相沉积技术,将C2H2、H2和N2当成是反应气体,研制碳纳米管薄膜。使用扫描电镜（SEM）以及拉曼光谱（Raman）对其展开讨论,研究发现：催化剂刻蚀温度对碳纳米管薄膜
【机 构】
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渭南师范学院数理学院
【出 处】
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渭南师范学院学报：综合版
【发表日期】
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2017年24期
【基金项目】
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陕西省教育厅专项科研计划项目：碳纳米管的制备及其场发射性能的研究（16JK1277）,渭南师范学院自然科学研究一般项目：碳纳米管的制备及其场发射性能的研究（16YKS012）
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