JET真空室及其运行

来源 :国外核聚变与等离子体应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fzy321
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
其他文献
可以把真空弧产生的金属等离子体用作常规金属离子植入用的离子源中离子的原材料,或可用作等离子体浸泡离子植入的浸泡等离子体。在两种情况下,产生等离子体的基本方法是一样的
许多新的等离子体工艺思想正在由实验室走向工厂。它们要求高压(HV)脉冲电源设备,而这些设备在应用、系统效率和可靠性方面必须是最佳的。虽然没有哪一种高压脉冲技术能适合于所有