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应用凝聚体的改进的ＴＦＤ理论和弹性力学方法分析了薄膜内应力的产生机制，给出了理论上计算内应力值的方法。指出薄膜内应力主要是界面电子运动连续条件的必然结果，并给出与实测应力值一致的理论预测结果。
薄膜内应力的分析和计算
【摘 要】
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应用凝聚体的改进的ＴＦＤ理论和弹性力学方法分析了薄膜内应力的产生机制，给出了理论上计算内应力值的方法。指出薄膜内应力主要是界面电子运动连续条件的必然结果，并给出与实测应力
【机 构】
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国防科学技术工业委员会,国防科学技术工业委员会,北京
【出 处】
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自然科学进展
【发表日期】
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1998年1期
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