【摘 要】
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本文使用超精密平面研磨机及锡磨盘进行超光滑表面的抛光研究.平面抛光中,锡磨盘表面的形貌和加工状况直接影响被加工工件的表面平面度.本文基于Preston方程,建立了在定偏心
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,超精密加工技术国防科技重点实验室
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本文使用超精密平面研磨机及锡磨盘进行超光滑表面的抛光研究.平面抛光中,锡磨盘表面的形貌和加工状况直接影响被加工工件的表面平面度.本文基于Preston方程,建立了在定偏心抛光条件下,被加工材料的去除模型.针对锡盘开有同心圆等沟槽的表面加工状况,提出了一种计算材料有效去除的算法,计算了工件的表面去除误差,对抛光后工件表面形貌提出理论预测.
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