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晶圆级老化系统(WLBI：Wafer Level Burn—In)由于在确保KGD(Know Good Die)的同时，能够最有效地降低试验成本因此倍受市场关注。下面将晶圆级老化系统的最新技术动向：4倍于原设备处理能力的256颗Die可同时进行老化试验的系统介绍给大家。
晶圆级老化系统的最新技术动向
【摘 要】
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晶圆级老化系统(WLBI：Wafer Level Burn—In)由于在确保KGD(Know Good Die)的同时，能够最有效地降低试验成本因此倍受市场关注。下面将晶圆级老化系统的最新技术动向：4倍于原设
【机 构】
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爱斯佩克株式会社,爱斯佩克环境仪器上海有限公司
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2004年6期
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