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为了充分发挥场发射扫描电镜高分辨率有大的景深特点，达到在二维屏幕上既可观察到样品向观三维立体图像，又可测定样品微观三维数据的目的，开发和了在日立Ｓ－４２００冷场发射扫描电镜上制作三维（３Ｄ）立体图。
扫描电镜三维立体图研制
【摘 要】
：
为了充分发挥场发射扫描电镜高分辨率有大的景深特点，达到在二维屏幕上既可观察到样品向观三维立体图像，又可测定样品微观三维数据的目的，开发和了在日立Ｓ－４２００冷场发射扫描电镜上制作
【机 构】
：
钢研所
【出 处】
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宝钢技术
【发表日期】
：
1998年4期
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