氧气气氛下退火温度对BST薄膜结构及物理性能的影响

来源 :河北大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：liujmjm

【摘要】

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利用溶胶凝胶法在Pt/TiO2/SiO2/Si（001）衬底上制备了（～70nm）的Ba0.6Sr0.4TiO3（BST）薄膜,采用磁控溅射法构建了Pt/BST/Pt/TiO2/SiO2/Si（001）电容器,研究了在氧气气氛中不同退火温度对BS

【作者】

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娄建忠李俊颖代鹏超孙杰刘保亭

【机构】

：

河北大学电子信息工程学院,河北大学物理科学与技术学院

【出处】

：

河北大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2011年5期

【关键词】

：

BST薄膜溶胶凝胶常规退火 BST thin films sol-gel conventional annealing

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利用溶胶凝胶法在Pt/TiO2/SiO2/Si（001）衬底上制备了（～70nm）的Ba0.6Sr0.4TiO3（BST）薄膜,采用磁控溅射法构建了Pt/BST/Pt/TiO2/SiO2/Si（001）电容器,研究了在氧气气氛中不同退火温度对BST薄膜结构及物理性能的影响.结果发现,650℃退火样品具有良好的结晶质量和介电性能.650℃退火样品在电场强度为200kV/cm时漏电流密度为3.06×10-6 A/cm2.

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