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多晶硅是一种单质硅的一种表现形态，都是硅原子的不断集合，而形成多个晶粒，多个晶粒相互融合形成了多晶硅。科学技术的不断进步，太阳能电池逐渐向多晶硅、单晶硅等方面发展，是未来太阳能技术的发展趋势。为了方便日后多晶硅的发展，应对其制备工艺进行明确的了解，以提升多晶硅的发展水平，为其他领域提供条件。为此，本文就多晶硅制备工艺及其发展进行了分析与研究。