磁流变抛光高精度光学表面中的工艺参数

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对磁流变抛光进行高精度光学表面加工中必须考虑和控制的7类参数,即磁流变液黏度、磁场强度、磁流变液流量、抛光轮转速、锻带厚度、切深以及抛光斑点特性进行分析和优化,得出单因素条件下材料的去除量总是同这7类参数的变化存在一定的内在联系.在分析和优化磁流变抛光过程中这些参数的基础上,采用自研的KDMRF-1000机床对一块K4材料口径100mm的平面镜进行了抛光加工实验.经过两次循环大约200min的抛光后.面形误差值由最初的峰谷值(PV)为262nm,均方根值(RMS)为49nm收敛到最终的PV为55nm,RM
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