【摘 要】
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针对音叉式体硅MEMS陀螺仪传感器，提出了一种新颖的电容读出电路结构，该结构对共模电压漂移不敏感，能消除电容不匹配引入的误差。相关双采样（CDS）技术有效降低了电路的低频噪声和
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,中国科学院研究生院
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针对音叉式体硅MEMS陀螺仪传感器，提出了一种新颖的电容读出电路结构，该结构对共模电压漂移不敏感，能消除电容不匹配引入的误差。相关双采样（CDS）技术有效降低了电路的低频噪声和电压失调的影响。采用了一种简化的微陀螺传感器仿真模型，用于读出电路与微传感器的联合仿真。凑出电路在0．35恤m2P4M标准CMOS工艺下设计流片，芯片面积为2．5mm×2．5mm，5V电源电压，电路工作在500kHz的时钟频率下，实现了1．5aF／Hz”。的电容分辨率和大于100dB的动态范围。
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