【摘 要】
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为解决脊型波导相位调制的有效折射率测量问题,提出一种3端口MZI(Mach-Zehnder Interferometer)结构,能定量测量并分析PN结(Positive-Negative junction)脊型硅光波导中,有效
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院,吉林大学集成光电子学国家重点实验室
【基金项目】
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国家重点研发计划基金资助项目(2016YFE0200700),国家自然科学基金资助项目(61627820,61934003,62090054),吉林省重大科技专项基金资助项目(20200501007GX)。
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为解决脊型波导相位调制的有效折射率测量问题,提出一种3端口MZI(Mach-Zehnder Interferometer)结构,能定量测量并分析PN结(Positive-Negative junction)脊型硅光波导中,有效折射率的实部和虚部受偏置电压调制的相对变化,并给出多项式拟合方程。实验所得结果与拟合结果非常符合,最终可以得到脊型波导在相位调制过程中的特性。该测量方法简单易行,可应用于硅基光电子集成芯片当中,作为载流子调制特性定量检测器件。
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