【摘 要】
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以玻璃管为衬底材料,Sn(NO3)4,Sb(NO3)3,Ce(NO3)3的混合乙醇溶液作为喷涂液,采用化学喷涂法,研究掺Ce比例和成膜温度对SnO2电热薄膜电学性质的影响。工艺实践表明:SnO2电热薄
【机 构】
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以玻璃管为衬底材料,Sn(NO3)4,Sb(NO3)3,Ce(NO3)3的混合乙醇溶液作为喷涂液,采用化学喷涂法,研究掺Ce比例和成膜温度对SnO2电热薄膜电学性质的影响。工艺实践表明:SnO2电热薄膜的最佳成膜温度值为650℃,最佳掺杂Ce/Sn原子比为6%,电导率σ=104(Ω.cm)-1,电学性能的热稳定性好。并从理论上定性讨论了掺Ce比例和成膜温度对SnO2电热薄膜电学性质影响的机制。
The mixed solution of Sn (NO3) 4, Sb (NO3) 3 and Ce (NO3) 3 in glass tube was used as the spray coating solution. The chemical spraying method was used to study the effects of the Ce content and the film formation temperature on the SnO2 electro-thermal thin film The impact of electrical properties. The results show that the optimum film-forming temperature of SnO2 thin film is 650 ℃, the optimal doping Ce / Sn atomic ratio is 6%, the conductivity σ = 104 (Ω · cm) -1, the thermal stability of electrical properties it is good. The mechanism of the effect of Ce content and film formation temperature on the electrical properties of SnO2 films was qualitatively and theoretically discussed.
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