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采用磁控溅射法，在玻璃衬底上沉积了ZnS多晶薄膜，研究了衬底温度和Ar气流量对ZnS薄膜质量的影响．利用表面轮廓仪测量了薄膜的厚度，计算了薄膜的沉积速率．使用X射线衍射（XRD）分析了薄膜的微结构．通过紫外．可见光分光光度计测量了薄膜的透过谱，计算了禁带宽度．结果表明：所有制备的ZnS薄膜均为闪锌矿结构，所有样品在（111）方向具有明显的择优取向，沉积速率随着衬底温度升高而降低，薄膜有较大的内应力，导致禁带宽度变窄．衬底温度为300℃时，薄膜的结晶质量最好．随着Ar气流量的增加，沉积速率增大，但薄膜的结构