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碳,硼,氮及氧等元素在电子探针分析中常称之为超轻元素,这些元素的定量分析还存在许多包括测量和定量修正方面的困难。本文就质量吸收系数的不准确,超轻元素谱线的化学位移,及重元素的L,M及N系谱线对其干扰等方面的问题进行研究和讨论,并分别提出了解决这些问题的方法。选择合适的标样是获得准确定量分析结果的关键。