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故障现象：机器出10—4 TRIP T联锁。故障检修：查资料10—4 TRIP T联锁表示靶方向的真空变差，高于10^-4mbar，正常应在10^-6mbar左右。进入SERVICE模式，点击Gun Servo子选单，屏幕显示227Vac Gun-6．04，228Vac Targ-3．48，正常显示值均应在-6左右。说明枪方向的真空正常，靶方向真空不正常。