【摘 要】
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为了提高质谱仪熔样系统的熔样精度、效率和自动化程度，以惰性气体同位素质谱仪为实验对象，对熔样系统的智能化进行研究。完成了激光熔样系统中二维样品台的重新设计，石墨炉进样
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
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为了提高质谱仪熔样系统的熔样精度、效率和自动化程度，以惰性气体同位素质谱仪为实验对象，对熔样系统的智能化进行研究。完成了激光熔样系统中二维样品台的重新设计，石墨炉进样系统的自动化设计。设计了一系列控制子程序，并对视觉系统进行了标定。标定后的激光熔样系统有很高的精度，重复性误差为0．005mm。实验结果表明，改造后的熔样系统有很好的稳定性，提高了效率。
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