【摘 要】
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本文从真空中尘埃运动动力学出发，分析了尘埃飞扬原因和影响因素，对尘埃的防止和过滤提出了在系统结构设计和操作方法方面可采取的措施。文中列出了当前国内外常用的尘埃过滤方
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本文从真空中尘埃运动动力学出发，分析了尘埃飞扬原因和影响因素，对尘埃的防止和过滤提出了在系统结构设计和操作方法方面可采取的措施。文中列出了当前国内外常用的尘埃过滤方式，最后给出一种混合式尘埃过滤器的结构尺寸和使用效果。
In this paper, starting from the kinetics of dust in the vacuum, the reasons and influencing factors of dust flying are analyzed. The measures to prevent and filter dust are put forward in the aspects of system structure design and operation method. The article lists the current domestic and international dust filtration methods, and finally gives a hybrid dust filter structure size and the use of results.
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