【摘 要】
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<正>自从几年前面世以来,3D NAND由于能够有效增加存储设备的位密度,已发展成为一种主流技术。随着3D结构制成工艺的进步和位成本的降低,3D NAND技术的普及程度也被加快了。
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<正>自从几年前面世以来,3D NAND由于能够有效增加存储设备的位密度,已发展成为一种主流技术。随着3D结构制成工艺的进步和位成本的降低,3D NAND技术的普及程度也被加快了。然而,尽管具有诸多优势,3D NAND整体工艺复杂、资本投入高,因此制造厂商在流程控制、生产良率、资金运转等方面依然面临着巨大的挑战。3D NAND的市场及技术驱动力平面NAND技术正逼近物理极限,继续增加位
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