【摘 要】
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设计了一种玻璃管式封闭等离子体腔室,以高频开关电源为工作电源,高纯氩气（体积分数为99.999%）为工作气体,结合汤森放电理论,推导了等离子体密度与电流之间的关系,结合实验结果
【机 构】
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上海交通大学薄膜与微细加工教育部重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（61574091）资助
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设计了一种玻璃管式封闭等离子体腔室,以高频开关电源为工作电源,高纯氩气（体积分数为99.999%）为工作气体,结合汤森放电理论,推导了等离子体密度与电流之间的关系,结合实验结果对该理论进行了验证,并测试了不同压强,不同电极下的封闭式等离子体密度。实验结果表明,在以纯金属热阴极材料钨为电极,工作电流为200 mA,管内气压为66 Pa（0.5 torr）的条件下,可将封闭式等离子体密度提高至1.1×10~（13）cm~（-3）。对封闭式等离子体密度与电流、腔室内气体压强及腔室电极之间的关系进行了分
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